冷等静压机在进行故障排除时要注意以下几点：

1、在做温等静压的故障及排除之前，应熟悉各系统的原理及部件功能。

2、应特别注意有关压力、温度等超限故障的排除，确保设备人身安全。

3、应注意做好平时的维护工作，严格按操作规程操作预防与减少故障的发生。

4、注意定期校验检测元件（压力、温度传感器）的度。

在这里举一个例子，比如冷等静压机真空系统常见故障为真空度抽不到工艺上的要求或需时过长。其排除方法为：

1、检查真空泵油，若已污染，更换之。

2、检查阀门的密封，若密封不紧或被污染，则应进行清洗或更换密封圈。

3、检查管路、炉盖及电引线处的完整及密封性，若不密封，则更换相应备件或密封圈。